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光刻技术是制造半导体芯片中不可或缺的关键步骤,它通过使用光线(通常是紫外线)照射经过特定处理的硅片上的光敏材料,以此创建出微小的电路图案。光刻技术之所以对芯片制造至关重要,主要原因在于它决定了芯片的性能、复杂度和生产成本 、并且随着技术的进步,光刻技术的精度直接影响到芯片能否实现更小的尺寸和更高的集成度。在这些原因中,光刻技术对芯片性能的影响 尤为关键。芯片性能的提高往往依赖于电路线条的精细程度...
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